PECVD设备实现大规模量产

2015-08-18 来源:中华工商时报 字号: 12 14
   一家名不见经传的小公司,藏身于沈阳市浑南区一处僻静小院,投资仅3亿多元,历时短短四五载,就一举突破少数国际巨头的垄断,在全国首次实现大规模集成电路专用薄膜设备(PECVD设备)的量产,被誉为IC装备业界的“隐形冠军”。它就是沈阳拓荆科技有限公司。 

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